Чистые помещения в микроэлектронике



Электронная промышленность всегда являлась одним из самых крупных потребителей чистых помещений в мире. Требования к уровню чистоты сред в данной отрасли самые высокие и максимально жесткие. Тенденция постоянного роста этих требований привела к качественно новым подходам к созданию чистых сред.  Суть этих подходов заключается в создании изолирующих технологий, т.е. в физическом отделении определенного объема чистого воздуха от окружающей среды. Это разделение, как правило, герметичное, позволило исключить влияние одного из самых интенсивных источников загрязнений – человека. 


Применение изолирующих технологий обуславливает рост автоматизации и роботизации производств в электронной промышленности. Использование чистых помещений в микроэлектронике имеет свои особенности. На первый план выходят требования к чистоте воздушной среды по аэрозольным частицам. Повышенные требования предъявляются также к системе заземления чистого помещения, особенно в части контроля отсутствия статического электричества. В  микроэлектронике требуется создание чистых помещений самых высоких классов чистоты с обязательным устройством перфорированных полов, для повышения интенсивности ламинарных потоков.